[11p-Z09-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[11p-Z09-7] 不純物を持つSi-p/n接合におけるトンネル電流;
３次元計算による検討

〇(D)趙 祥勲¹、中山 隆史¹ (1.千葉大理)

キーワード：半導体, トンネル