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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[11p-Z12-1~17] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2020年9月11日(金) 12:30 〜 17:15 Z12

鳥越和尚(SUMCO)、前田進(GWJ)、佐々木拓生(量研機構)、須藤治生(GWJ)

15:15 〜 15:30

△ [11p-Z12-11] HドープCZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に関する第一原理解析(3)

〇(M2)楠木琢也¹、末岡浩治²、杉村渉³、宝来正隆³ (1.岡山県立大院情報系工、2.岡山県立大情報工、3.SUMCO)

キーワード：点欠陥, 水素, 第一原理解析