[11p-Z12-1~17] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[11p-Z12-13] 「箱庭法」を用いた，pn接合部に対する金属元素のゲッタリング解析

〇神山 栄治^1,2、永倉 大樹²、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン, ゲッタリング, 不純物金属

「箱庭法」を適用する一例として，各種デバイスのキー要素であるpn接合部における，金属のゲッタリング挙動を解析する手法について述べる