[11p-Z13-1~18] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[11p-Z13-17] Shape dependence of electrode heating by microwave irradiation

〇Kenji Kanazawa¹, Takashi Nakamura¹, Masateru Nishioka¹, Uemura Sei¹ (1.AIST)

Keywords:microwave heating

我々はマイクロ波の局所的な選択加熱という特徴を活かしつつ、マイクロ波を定在波としてキャビティー内に閉じ込め、空間的に磁界成分のみに分離して加熱することでスパークなく基板のダメージなしにはんだを溶融し、素子の実装に成功した。マイクロ波加熱をする際、電極形状や電子部品のマイクロ波加熱の影響により、周辺配線がダメージを受ける可能性がある。我々は、電極形状パターンによる加熱特性の影響に関して検討を行った。