[11p-Z13-1~18] 12.1 作製・構造制御

[11p-Z13-17] マイクロ波照射による電極加熱の形状依存性

〇金澤 賢司¹、中村 考志¹、西岡 将輝¹、植村 聖¹ (1.産総研)

キーワード：マイクロ波加熱

我々はマイクロ波の局所的な選択加熱という特徴を活かしつつ、マイクロ波を定在波としてキャビティー内に閉じ込め、空間的に磁界成分のみに分離して加熱することでスパークなく基板のダメージなしにはんだを溶融し、素子の実装に成功した。マイクロ波加熱をする際、電極形状や電子部品のマイクロ波加熱の影響により、周辺配線がダメージを受ける可能性がある。我々は、電極形状パターンによる加熱特性の影響に関して検討を行った。