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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[11p-Z23-1~20] 16.3 シリコン系太陽電池

2020年9月11日(金) 12:30 〜 18:15 Z23

石河泰明(青学大)、松本光弘(パナソニック)

15:30 〜 15:45

[11p-Z23-11] ハードマスクを通したイオン注入によるa-Siへのp-nパターンの形成—パッシベーション性能の評価

〇Huynh ThiCam Tu¹、山口昇²、大平圭介¹ (1.JAIST、2.ULVAC)

キーワード：カウンタドープ, プラズマイオン注入, passivating contacts