[11p-Z28-1~12] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

[11p-Z28-2] Evaluation of operation speed of carbon nanotube thin film transistors fabricated by self-aligned process

〇Saya Ishimaru¹, Taiga Kashima¹, Hiromichi Kataura², Yutaka Ohno^1,3 (1.Nagoya Univ., 2.AIST, 3.IMASS, Nagoya Univ.)

Keywords:Carbon Nanotube Thin film transistors, Cutoff frequency

カーボンナノチューブは、高い移動度や柔軟性を有しており、フレキシブルエレクトロニクスへの応用が期待されている。本研究では、自己整合プロセスと従来プロセスのカーボンナノチューブ薄膜トランジスタのSパラメータ測定を行い、動作速度の評価を行った。自己整合プロセスの導入により大幅な遮断周波数の向上が確認された。