[11p-Z28-1~12] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[11p-Z28-2] 自己整合プロセスにより作製したカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの動作速度評価

〇石丸 紗椰¹、鹿嶋 大雅¹、片浦 弘道²、大野 雄高^1,3 (1.名大工、2.産総研、3.名大未来研)

キーワード：カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ, 遮断周波数

カーボンナノチューブは、高い移動度や柔軟性を有しており、フレキシブルエレクトロニクスへの応用が期待されている。本研究では、自己整合プロセスと従来プロセスのカーボンナノチューブ薄膜トランジスタのSパラメータ測定を行い、動作速度の評価を行った。自己整合プロセスの導入により大幅な遮断周波数の向上が確認された。