[8a-Z02-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [8a-Z02-10] N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析

〇山本 望¹、濱地 威明¹、林 侑介¹、藤平 哲也¹、三宅 秀人^2,3、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム, 透過型電子顕微鏡, スパッタ

UV-C LEDは紫外線殺菌に期待されているが、高い貫通転位密度・低い光取り出し効率（LEE）のため発光効率の低下が問題となっている。先行研究では、高LEEかつ低転位密度なAlN成長を目的として、ナノパターン加工サファイア基板（N-PSS）上にスパッタ成長（sp-AlN）とface-to-faceアニール（FFA）を組み合わせてAlNテンプレートが作製されている。本研究では、透過型電子顕微鏡（TEM）観察結果に基づいて、FFA sp-AlN/N-PSSの組み合わせに特有な成長機構と転位低減メカニズムについて議論する