[8a-Z02-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-Z02-2] HVPE-GaNバルク結晶における貫通転位の3次元的形態とバーガースベクトルの関係

〇濱地 威明¹、藤平 哲也¹、林 侑介¹、今西 正幸²、森 勇介²、五十嵐 信行³、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.阪大院工、3.名大IMaSS)

キーワード：窒化ガリウム, 貫通転位, バーガースベクトル

本研究では，ハイドライド気相成長（HVPE）法により育成した異なるGaN基板において，多光子励起顕微鏡、透過電子顕微鏡、化学エッチング法を用いて、貫通転位の3次元的形態とバーガースベクトルb，及びそれらとエッチピット形状との相関を詳細に解析した。その結果、種基板が異なる２つのHVPE-GaN結晶共に、エッチピットと貫通転位のバーガースベクトルが１対１に対応することを見出した。その中で、報告例が極めて少ないb=1m+1cを有する転位が存在することを明らかにした。また、ヒロック中心には互いに平行な２つの転位が存在し、これらはa成分が互いに逆方向のa+cタイプのバーガースベクトルを有することも分かった。当日は詳細な転位構造やその起源等について議論する。