[8a-Z02-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-Z02-9] スパッタ法と高温アニールで作製した−c/+c AlN薄膜の電子線回折による極性判定

〇林 侑介¹、野本 健斗¹、濱地 威明¹、藤平 哲也¹、三宅 秀人^2,3、五十嵐 信行⁴、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ、4.名大IMaSS)

キーワード：極性反転

AlNは~200 nmのバンド端波長、4.3 pm/Vの非線形光学定数d₃₃（λ = 1 μm）を有することから、紫外-可視-赤外の広帯域で動作する波長変換材料として有望である。当グループではAl金属ターゲット（Al-T）とAlN焼結体ターゲット（AlN-T）を併用した積層方向AlN極性反転技術を開発し、深紫外から近赤外波長で動作する波長変換デバイスを検討してきた。本発表では、電子線回折による極性反転構造の観察について報告する。