[8a-Z04-1~15] 8.1 Plasma production and diagnostics

[8a-Z04-15] Synthesis of water repellent thin film on the polycarbonate plate by developed unbalanced magnetron sputtering system

〇Yuta Ino¹, Yasunori Ohtsu¹, Takeshi Yasunaga², Yasuyuki Ikegami² (1.Saga Univ., 2.Saga Univ.IOES)

Keywords:plasma, sputtering

近年、撥水性のある素材が注目されており、この技術は自動車窓材の撥水化に利用されている．自動車窓材軽量化のために次世代窓材としてポリカーボネート(PC）が検討されている.今回は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)をターゲットに用いて、高周波マグネトロンスパッタリングにより 100°を超える撥水性薄膜を合成することを目的とし、高周波マグネトロンスパッタ装置を構築し、水滴接触角の計測を行った.