9:15 AM - 9:30 AM
[8a-Z04-4] Numerical Analysis of Influence of Driving Frequency on Fundamental Properties in Dual-Frequency Ar/CH4 Plasma at Low-Pressure
Keywords:Plasma CVD, Hydrocarbon plasma, simulation
ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon，以下DLC)膜DLC の成膜手法の一つとして，大面積かつ均一に処理できる利点からプラズマCVD 法が多く用いられているが，その堆積メカニズムには未解明な部分が多く，膜の特性を制御するまでには至っていない．そこで，本研究では二周波駆動Ar/CH4 容量結合型プラズマの空間一次元モデルを構築し，駆動周波数がプラズマ中の粒子組成や基板への入射フラックスに及ぼす影響について解析を行ったので報告する．