木村勇太

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発表者・著者、共著者

2020年9月8日(火) 08:30 〜 12:30 Z04

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.1 プラズマ生成・診断

[8a-Z04-1~15] 8.1 プラズマ生成・診断

09:15 〜 09:30

[8a-Z04-4] 二周波駆動低圧Ar/CH₄プラズマ特性に及ぼす駆動周波数の影響の解析

〇木村勇太¹、小田昭紀¹ (1.千葉工業大学)