[8a-Z05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-Z05-6] 圧縮下における非晶質炭素膜の膜構造評価

〇(M1)高田 歩¹、小畑 修二¹、宮田 登²、山田 悟史³、宮崎 司²、本間 章彦¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.電大、2.CROSS 中性子センター、3.高エネルギー加速器研究機構 (KEK）)

キーワード：DLC

DLC膜の圧縮下での膜構造変化については不明な点が多い．これらのことから，本研究では，膜構造の異なる水素含有量の多いa-C:H膜と水素含有量の少ないSputtering a-C (:H) 膜の2種を対象に，圧縮下における膜構造変化についての検討を行った．膜構造分析よりDLC膜は，500 kPaの加圧により膜構造の変化が確認された．また，圧縮下における膜構造の変化は水素含有量の多いa-C:H膜よりも水素含有量の少ないSputtering a-C (:H) 膜の方が，構造変化が大きいことが示唆された．