[8a-Z06-1~5] The Third-generation dissimilar materials bonding and its application to the film growth control: Interface nano-kubernetes

[8a-Z06-4] Room-temperature atomic layer technology based on two-dimensional oxides

〇Minoru Osada^1,2 (1.IMaSS, Nagoya Univ., 2.WPI-MANA, NIMS)

Keywords:two-dimensional oxides, atomic layer technology

本講演では、我々のグループの研究を例に、ナノシートを利用した常温原子膜制御技術とその応用について紹介する。