[8p-Z17-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[8p-Z17-11] Characterization of Mechanical Nonlinear effect in Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters using Lead-Free BiFeO₃ Film

〇Shuichi Murakami¹, Takeshi Yoshimura², Yusuke Kanaoka¹, Kazuo Satoh¹, Norifumi Fujimura² (1.ORIST, 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:vibration energy harvester, MEMS, BiFeO3

我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めている。今までに、振動加速度が高くなった際のPb(Zr,Ti)O₃(PZT)圧電膜を用いた振動発電素子の非線形出力について、逆圧電効果により生じる減衰を考慮した一自由度バネ・質量・ダッシュポット系モデルを基に報告している。今回、非鉛BiFeO₃(BFO)圧電膜を用いた場合の非線形出力について新たな知見が得られたので報告する。