[8p-Z17-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[8p-Z17-2] AR-XPSを用いたAlScNの化学結合状態の評価

〇辻口 良太¹、蔡 松霖²、角嶋 邦之²、野平 博司³ (1.都市大院理工、2.東工大、3.都市大)

キーワード：強誘電体薄膜

我々は次世代メモリ材料として有望な強誘電体材料であるAlScNに注目した。スパッタリング法を使ってAlScNをn+Si上に堆積させた試料をX線光電子分光法とX線反射率法を用いて評価した。