[8p-Z17-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [8p-Z17-4] Preparation of (Bi,K)TiO₃ films by chemical vapor deposition and hydrothermal method

〇Rurika Kubota¹, Ito Yoshiharu¹, Kurosawa Minoru¹, Funakubo Hiroshi¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:ferroelectric, hydrothermal method, chemical vapor deposition

(Bi,K)TiO₃薄膜作製はBi,Kの高い蒸気圧から困難であり、その研究例は必ずしも多くない。特に薄膜において作製法は確立しているとは言い難い。今回はCVD法と水熱合成法により(Bi,K)TiO3薄膜の作製検討を行い、その結果を報告する。