[8p-Z17-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8p-Z17-4] 化学気相堆積法及び水熱合成法を用いた(Bi,K)TiO₃薄膜作製の検討

〇窪田 るりか¹、伊東 良晴¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東京工業大学)

キーワード：強誘電体, 水熱合成法, 化学気相堆積法

(Bi,K)TiO₃薄膜作製はBi,Kの高い蒸気圧から困難であり、その研究例は必ずしも多くない。特に薄膜において作製法は確立しているとは言い難い。今回はCVD法と水熱合成法により(Bi,K)TiO3薄膜の作製検討を行い、その結果を報告する。