[8p-Z21-1~7] 8.1 プラズマ生成・診断

[8p-Z21-3] 電子サイクロトロン共鳴イオン源の共鳴領域上流および下流部におけるプラズマパラメータ測定およびマイクロ波給電最適化実験

〇久保 渉¹、針﨑 修平¹、大和田 一誠¹、佐藤 滉一¹、津田 知輝¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：ECRプラズマ, ラングミュアプローブ, マイクロ波