[8p-Z21-1~7] 8.1 プラズマ生成・診断

[8p-Z21-4] 電子サイクロトロン共鳴多価イオン源における多極磁場等の改良と多価イオンビームの経験的高収量化の効果

〇針崎 修平¹、久保 渉¹、大和田 一誠¹、佐藤 滉一¹、津田 知輝¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ, イオンビーム, 電子サイクロトロン共鳴

本研究グループではより効率的な電子サイクロトロン共鳴(Electron Cyclotron Resonance: ECR)プラズマ生成の実現のため, 真空チャンバー内の多極磁場および主排気系(Diffusion Pump: DP)のコンダクタンスに焦点を当てた改良を行った. また, 多価イオンビームの収量増加を目的として, 軽Zガスミキシングとパルス変調マイクロ波を用いたプラズマ生成実験を行った. これらのECRイオン源(Electron Cyclotron Resonance Ion Source: ECRIS)の改良と, 多価イオンビームの高収量化に関する実験結果の報告を行う.