[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[8p-Z25-9] エネルギー依存SIMSスペクトルのフラグメントイオンのクラスタリング

〇盛谷 浩右¹、桝本 哲郎¹、中村 知道²、乾 徳夫¹ (1.兵庫県立大学院工、2.兵庫県立大院シミュ)

キーワード：二次イオン質量分析, 多変量解析, クラスターイオンビーム

これまでクラスターSIMSにおいて一次イオンビーム照射による有機分子の解離パターンが一次イオンの1原子当たりエネルギー（eV/n）に依存して変化することを見出してきた．本研究では，一次イオンビームのeV/nに依存して変化するクラスターSIMSスペクトルを多変量解析の手法を用いて解析し，スペクトル中のフラグメントイオンピークを分類することを試みた．