[8p-Z26-1~23] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

[8p-Z26-1] Crystallization of thin Ge film including Cu nanoparticle assisted by nanoscale Cu–Ge droplet

〇Akito Hara¹, Hitoshi Suzuki¹, Kuninori Kitahara² (1.Tohoku Gakuin Univ., 2.Shimane Univ.)

Keywords:Germanium, In-situ TEM, Cu

その場観察TEMを利用してCuナノ粒子を含有するGe薄膜の結晶化プロセスを観察した結果について報告する。