[8p-Z26-1~23] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

[8p-Z26-22] Development of silica coating solutions of long pot life by cosolvent-free sol-gel method and synthesis of thin films

〇Koichi Kajihara¹, Keiichi Hiruta¹, Kiyoshi Kanamura¹ (1.TMU)

Keywords:silica thin films, cosolvent-free sol-gel method, coating solution of long pot life

非晶質シリカ薄膜は、液体を原料とするゾル–ゲル法により、ケイ素アルコキシドに加水分解と重縮合を施した溶液から容易に合成できる。しかし、溶液は重縮合の進行によって増粘しやすく、長期保存や繰り返し利用への関心は薄かった。今回、必須原料である4 官能ケイ素アルコキシドと水からの長可使時間ゾル–ゲル成膜溶液の開発と、この溶液によるシリカ薄膜の無共溶媒合成について報告する。