[8p-Z29-1~8] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[8p-Z29-2] 熱CVD法によるCNT合成における水分添加が及ぼす影響

〇川上 紘輝¹、細井 駿作¹、中本 啓志^1,2、關 雅志²、松永 忠雄¹、李 相錫¹ (1.鳥取大工、2.東芝テック株式会社)

キーワード：CNT, スーパーグロース法

燃料電池に用いる水素を吸着する担体や、ガスセンサー等のMEMSデバイスの材料としてCNT(Carbon Nanotube:CNT)が注目を浴びている。我々はCNTを用いた新しいデバイスのためにCNTの合成方法を検討している。合成方法の中でも、高効率での合成が可能でかつ高純度で表面積が広く、応用に適したスーパーグロース法によるCNT成長の影響について述べる。