The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

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Oral presentation

15 Crystal Engineering » 15.2 II-VI and related compounds

[9a-Z01-1~6] 15.2 II-VI and related compounds

Wed. Sep 9, 2020 9:00 AM - 10:30 AM Z01

Kazuyuki Uno(Wakayama Univ.)

9:45 AM - 10:00 AM

[9a-Z01-4] Device integration of ZnSe based organic-inorganic hybrid ultraviolet APD

Yuta Fujii1, Yuki Ichikawa1, Kaiki Nakamura1, Kazuki Nakagawa1, Kentarou Yoshida1, Ryuichi Miyazaki1, Yuya Tsuzi1, Shumpei Yamamoto1, Tomoki Abe1, Kunio Ichino1, Kazuaki Akaiwa1 (1.Tottori Univ.)

Keywords:ZnSe, ultraviolet avalanche photodiodes, organic-inorganic hybrid structure

本研究では,ZnSe系有機-無機ハイブリッド構造アバランシェフォトダイオードの集積化プロセスの開発を行った.GaAs基板上にZnSe系無機層をMBE成長した後,フォトリソグラフィによりPEDOT:PSS有機窓層を形成した.デバイス表面にSU-8絶縁層を設け,ボンディングパッド付きのAu/Ti外部電極を形成し,集積型デバイスを作製した.