[9a-Z02-1~8] 15.4 III-V-group nitride crystals

[9a-Z02-1] [The 42nd JSAP Paper Award Speech] Development of high-efficiency and high-power deep-UV LED using reflective photonic crystal

〇Yukio Kashima^1,2, Eriko Matsuura^1,2, Noritoshi Maeda¹, Masafumi Jo¹, Hidetoshi Shinohara³, Ryuuichirou Kamimura⁴, Yamato Osada⁴, Kanji Furuta⁴, Takeshi Iwai⁵, Yohei Aoyama⁵, Yasushi Iwaisako⁶, Tumugu Nagano⁷, Hideki Hirayama¹ (1.RIKEN, 2.Marubun, 3.Shibaura Machine, 4.ULVAC, 5.Tokyo Ohka Kogyo, 6.Nippon Tangsuten, 7.DNP)

Keywords:deep-UV LED, light extraction efficiency, photonic crystal

細菌・ウイルスの不活化効果にUVC-LEDが注目されている。しかし、アフターコロナ共存時代のインフラ設備には高出力・高効率の製品開発が急務である。我々は、この課題を解決すべく、p-GaNコンタクト層に反射フォトニック結晶の導入、素子面積の増大化、高反射コーティングパッケージの要素技術を複合化したUVC-LEDの研究開発を行っている。