[9a-Z02-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

[9a-Z02-2] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製(2)

〇上杉 謙次郎¹、王 丁²、手銭 雄太¹、肖 世玉²、正直 花奈子³、窪谷 茂幸¹、三宅 秀人^2,3 (1.三重大地創戦略企、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)

キーワード：スパッタ, アニール, 深紫外LED

スパッタ成膜と高温アニールで作製したAlNテンプレート上へDUV-LED構造を作製した。転位密度の異なるAlNテンプレートを用いて、AlNおよびAlGaNの結晶性とDUV-LEDの発光特性の関係を評価した。ピーク波長264 nmにおいて、外部量子効率の最大値は約1.7%であった。