[9a-Z10-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[9a-Z10-3] ミニマルファブのMEMS及び3D構造製造技術への適用可能性

〇クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：MEMS, 3次元製造, ミニマルファブ