[9a-Z10-1~11] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[9a-Z10-9] Operational amplifier Circuit Fabricated by Minimal Fab (Ⅱ)

〇Masashi Kase¹, Kazuhiro Koga², Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.AIST, 2.MINIMAL)

Keywords:Minimalfab

ミニマルファブでOPアンプの試作を行い、前回の報告ではOPアンプの動作は確認できたがオフセットは0.5V～2.0Vと大きい結果になった。今回、層間のTEOS膜厚を300nmから400nmとし、ViaのエッチングをDryEtchingからWet&DryEtchingに変更した。また、AlゲートとAl配線のオーバラップ箇所を避けるようパターン変更を行った。試作完成したウェハを測定した結果、オフセットを7mV～564mVと改善することができた。