[9a-Z18-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[9a-Z18-8] セラミックスの超短パルスレーザー加工における非熱／熱加工の境界

〇高田 英行¹、奈良崎 愛子¹、吉富 大¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー加工, 超短パルス, 非熱加工

超短パルスレーザー加工に於ける高速化・高品質化を実現するため、各種材料において、多様な加工条件に依存する非熱的/熱的加工の境界を明らかにすることが重要である。今回、難加工性の産業用セラミックスで、互いに熱伝導度が大きく異なり、非熱的/熱的加工のあらわれ方に大きな影響が期待されるAlNとZrO2を対象に、パルス幅、繰り返し周波数、等の時間域パラメータに対する、非熱的/熱的加工の境界について報告する。