11:15 AM - 11:30 AM
[9a-Z28-7] Selection of Experimental Parameters for Resistance Control of Nanogaps Using Bayesian Optimization
Keywords:Nanogap, Bayesian Optimization
我々は、エレクトロマイグレーションを利用したナノギャップ構造の抵抗を制御する方法として、アクティベーション法を提案してきた。また、ベイズ最適化によって実験パラメータ探索を行うフィードバック制御を適用することで、一度の通電プロセスでの抵抗制御の検討してきた。今回、抵抗をフィードバックごとに比較する評価関数を設け、ベイズ最適化の目的関数とすることでAuナノギャップにおけるトンネル抵抗の制御性を検討した。