[9a-Z29-1~14] 17.2 Graphene

[9a-Z29-2] In-situ Observation of Effect of Hydrogen on CVD Growth of Graphene by Radiation-mode Optical Microscopy and Synchrotron Radiation XPS

〇Takanobu Taira¹, Younghyun Choi¹, Yu Tsuchihara¹, Kozo Mukai¹, Shunsuke Tanaka¹, Jun Yoshinobu¹ (1.ISSP, The Univ. of Tokyo)

Keywords:graphene, CVD, synchrotron radiation XPS

工業応用を目指したCu基板上のグラフェンCVD成長では原料ガスのCH₄とともにH₂を供給するが、H₂がグラフェン成長に与える効果は明らかでない。本研究では、熱放射光学顕微法によるグラフェンCVD成長のリアルタイム観察と、in-situ放射光XPSによるCVD停止後の基板測定を行い、H₂の効果を評価した。H₂有り・無しのCVDについて、光学観察とXPSのいずれの観測結果からも炭素量はH₂無しの条件の方が多く、H₂中加熱後は炭素量が減少した。