[9p-Z01-1~18] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[9p-Z01-16] 主成分分析を利用したRHEEDパターンの判別

〇權 晋寛¹、荒川 泰彦¹ (1.東大ナノ量子)

キーワード：RHEED, 主成分分析, 機械学習

主成分分析は相関は、各データの主成分により、群集化(clustering)でき、それぞれを分類することができる。また、ラベルなどの事前の情報が必要なく、データの特徴を要約できる「教師なし学習」である特徴もある。今回、我々は GaAs 基板上へのGaAs の MBE 成長で反射高速電子線回折(RHEED)像を収集し、主成分分析によりそのパターンの分類に成功したので報告する。