[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[9p-Z05-10] ナノ領域価数分解ホログラフィー顕微鏡Compact DELMAの開発

〇大門 寛¹、桃野 浩樹²、松田 博之³、Toth Laszlo⁴、益田 有⁵、小粥 啓子⁵、竹内 走一郎⁶、橋本 由介⁶、松下 智裕⁶ (1.豊田理研、2.米子高専、3.分子研、4.Debrecen大、5.(株)アプコ、6.奈良先端大)

キーワード：ホログラフィー, 顕微鏡, 原子分解能

原子分解能ホログラフィーは、結晶中の微量元素の周りの局所的な原子配列を立体視して、その原子の働きを原子レベルで解析できる手法である。従来の装置は放射光が必要であり、エネルギー分解能が不十分であった。本研究では、どこでもナノ領域の価数分離した孤立原子周りの原子配列の立体視ができるホログラフィー顕微鏡Compact DELMAを開発している。W(110)-O表面の価数分離ホログラフィーを例に説明する。