[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[9p-Z05-14] スパッタリング法により作製したLa-Ni系合金薄膜上におけるCO2メタン化反応

〇林 諄眞¹、源馬 龍太¹、中廣 駿太郎¹ (1.東海大院工)

キーワード：薄膜