[9p-Z18-1~21] 3.7 Laser processing

[9p-Z18-10] Evaluation of waveform-dependent efficiency for laser processing with an arbitrary waveform nanosecond pulse laser

〇Tsubasa Endo¹, Shuntaro Tani¹, Yohei Kobayashi¹ (1.ISSP, Univ. Tokyo)

Keywords:laser processing, nanosecond pulses, thermal processing

短パルスレーザー加工におけるエネルギーの時空間ダイナミクスを明らかにするため，任意波形ナノ秒パルスレーザーを用いて，異なる時間波形のパルスを照射してそれぞれ試料の貫通加工を行い貫通にかかる時間を測定することで，時間波形が加工効率に与える影響を評価した。