[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

[9p-Z18-10] 任意波形ナノ秒パルスレーザーによる加工効率の時間波形依存性評価

〇遠藤 翼¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工, ナノ秒パルス, 熱的加工

短パルスレーザー加工におけるエネルギーの時空間ダイナミクスを明らかにするため，任意波形ナノ秒パルスレーザーを用いて，異なる時間波形のパルスを照射してそれぞれ試料の貫通加工を行い貫通にかかる時間を測定することで，時間波形が加工効率に与える影響を評価した。