[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

△ [9p-Z18-3] フェムト秒レーザー直接描画によるPDMSへの導電性構造作製

〇林 秀一郎¹、茂呂澤 郁也¹、寺川 光洋^1,2 (1.慶大院理工、2.慶大理工)

キーワード：フェムト秒レーザ加工, ソフトマテリアル, フレキシブルデバイス

本研究ではポリジメチルシロキサン (PDMS) 表面へフェムト秒レーザーを集光照射し導電性構造へと改質した。作製構造をラマン分光法により解析した結果、グラフェン特有のD, G, 2Dバンドが確認され、PDMSがグラフェンを含む炭素構造へと改質したことが示唆された。透過型電子顕微鏡を用いて作製構造を観察したところ、ナノ寸法のSiC結晶および多層グラフェンによって構成されていることが確認できた。また、異なるレーザーパラメータで構造作製を行い導電性の計測を行った結果、導電性は炭素構造の結晶性に依存することを明らかにした。更に、作製した導電性構造を用いたひずみセンシングを実験実証し、フレキシブルデバイス応用への可能性を示した。