[9p-Z18-1~21] 3.7 レーザープロセシング

[9p-Z18-8] LIPSS 形成 へのレーザーパルス間隔と積重数の影響

〇大貝 哲将¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大院)

キーワード：レーザー誘起周期構造, ガリウムひ素, フェムト秒レーザー

レーザー誘起周期構造(LIPSS)は超短パルスレーザーを照射することで材料表面に形成される微細周期構造である。LIPSSはレーザーパルスの積重により形成されることや、積重数を増すとLIPSSの周期が変わることが報告されている。本研究では、積重するレーザーパルス同士の相互作用を理解することを目的とし、レーザーのパルス間隔とパルス積重数がLIPSS形成に与える影響を調査した。