[9p-Z19-1~16] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

△ [9p-Z19-6] ハイブリッドMOS型光位相シフタによるリング共振器光スイッチの検証

〇大野 修平¹、李 強¹、関根 尚希¹、湯 涵智¹、モンフレ ステファン²、ブフ フレデリック²、トープラサートポン カシディット¹、高木 信一¹、竹中 充¹ (1.東大院工、2.STﾏｲｸﾛｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ)

キーワード：シリコンフォトニクス, 光位相シフタ, リング共振器

我々は極薄InPメンブレンによるIII-V/SiハイブリッドMOS型光位相シフタを用いたリング共振器型スイッチを提案した。素子作製によって、これが超低消費電力、低熱クロストークで動作可能であることを実証し、光ニューラルネットワークのためのリング共振器クロスバーアレイ型光回路のような大規模なプログラマブルシリコン光回路へ応用可能であることを示した。