[9p-Z20-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-Z20-11] 超高感度エミッション顕微鏡によるEFG成長β型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードの漏れ電流の起源の同定

〇嘉数 誠¹、スダーン セイリープ¹、佐々木 公平²、大石 敏之¹、川崎 克己³、平林 潤³、倉又 朗人² (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.TDK（株）)

キーワード：酸化ガリウム, エミッション顕微鏡, SBD

超高感度エミッション顕微鏡で逆方向リーク電流に関与したSBDからのエミッション発光の起因となる欠陥を同定した。