[9p-Z20-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-Z20-5] 高品質VB成長β型酸化ガリウムバルク結晶のシンクロトロンX線トポグラフィー観察

〇嘉数 誠¹、スダーン セイリープ¹、小林 拓実²、大葉 悦子²、干川 圭吾^2,3 (1.佐賀大院工、2.不二越機械工業（株）、3.信州大工)

キーワード：酸化ガリウム, X線トポグラフィー

VB法で2インチのバルクができるようになり、そのバルク結晶をシンクロトロンX線トポグラフィー法などで構造評価を行ったところ、高品質特性が示された。