[9p-Z20-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-Z20-8] 酸化ガリウム結晶への窒素イオン注入が分光感度特性に及ぼす影響

〇(M1)中西 雅彦¹、ワン マンホイ²、山口 智広¹、本田 徹¹、東脇 正高²、尾沼 猛儀^1,2 (1.工学院大、2.情通機構)

キーワード：酸化ガリウム, 受光感度, イオン注入

窒素イオン注入した酸化ガリウムの受光感度スペクトルの測定を行った。得られたスペクトルに対し、バンドギャップ以下(2.0～4.5 eV)の範囲とバンドギャップ以上(4.5～5.5 eV)の範囲で強度積分を行いアニール温度に対してプロットを行った。得られた結果から、窒素イオン注入が補償アクセプタの形成と、新たな非輻射性再結合中心の形成を誘起し、残留キャリアと光励起キャリアに影響を及ぼすことが分かった。