[9p-Z21-1~10] 8.3 Plasma nanotechnology

△ [9p-Z21-2] Control of the Water-repellent by changing Nano-pillar Array Structures Fabricated by Bio-template Ultimate Etching

〇(M1)Sou Takeuchi¹, Daisuke Ohori^1,2,7, Teruhisa Ishida³, Masahiro Sota³, Yoshiyuki Nozawa⁴, Mikio Kadoi⁵, Kazuhiko Endo^1,6, Seiji Samukawa^1,6,7 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NCTU, 3.NAGASE & CO.,LTD., 4.SPT Co., 5.LTJ Corp, 6.AIST, 7.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:Hydrophobicity, Quartz nano-pillar structure, Neutral Beam Etching

センサ(ミリ波レーダー)やカメラ表面への防滴・防汚の実現は非常に期待されており、固体表面の微細構造を用いることで高い撥水性を示すことが広く知られている。しかしながら、レーダーやカメラのレンズで使用されるガラスは親水性であることから、撥水性の発現が困難とされている。そこで、本研究では間隔を制御させた石英ナノピラー (NP)構造を作製することで撥水性を実現し、その濡れ性のメカニズムを議論した。