[9p-Z21-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [9p-Z21-2] バイオテンプレート極限加工により作製したクォーツナノピラー構造の変化による表面撥水性の制御

〇(M1)竹内 聡¹、大堀 大介^1,2,7、石田 昌久³、曽田 匡洋³、野沢 善幸⁴、門井 幹夫⁵、遠藤 和彦^1,6、寒川 誠二^1,6,7 (1.東北大流体研、2.NCTU、3.長瀬産業、4.SPPテクノロジーズ、5.リソテックジャパン、6.産総研、7.東北大AIMR)

キーワード：撥水性, クォーツナノピラー構造, 中性粒子ビームエッチング

センサ(ミリ波レーダー)やカメラ表面への防滴・防汚の実現は非常に期待されており、固体表面の微細構造を用いることで高い撥水性を示すことが広く知られている。しかしながら、レーダーやカメラのレンズで使用されるガラスは親水性であることから、撥水性の発現が困難とされている。そこで、本研究では間隔を制御させた石英ナノピラー (NP)構造を作製することで撥水性を実現し、その濡れ性のメカニズムを議論した。