[9p-Z21-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [9p-Z21-6] スパッタSi系薄膜を負極材としたLiイオン電池の特性評価

〇(M1)羽生 侑真¹、永冨 刀夢¹、林 純希¹、永井 健太¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：プラズマ, リチウムイオン電池, ナノ粒子