[9p-Z25-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-Z25-4] 転写法を用いたフレキシブルな二段貫通電極の作製

〇古田 敦大¹、谷口 淳¹ (1.東京理科大基礎工)

キーワード：ナノインプリント, 貫通電極

デバイスの小型化、高密度化の点で優れている接続方法である貫通電極はシリコンを用いたシリコン貫通電極が主である。本研究では柔軟な貫通電極を二段で作製した。