Vignesh Viswanathan

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発表者・著者、共著者

2020年3月13日(金) 13:30 〜 17:15 A303 (6-303)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| 先端イオン顕微鏡技術の近年の進捗：ナノ材料・デバイスへの展開

[13p-A303-1~9] 先端イオン顕微鏡技術の近年の進捗：ナノ材料・デバイスへの展開

16:45 〜 17:15

▲ [13p-A303-9] Application of Neon Ion Beam for Processing III-V Semiconductors and Atom Probe Sample Preparation of Ga sensitive materials

〇Vignesh Viswanathan¹、Deying Xia²、Hanfang Hao¹、John Notte² (1.Carl Zeiss Pte Ltd、2.Carl Zeis SMT Inc.)